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VSM77DL_Full Range Vacuum Gauge (전압 범위 진공 게이지)

VSM77DL

주요특징

  • Pirani 센서와 Cold Cathode(냉음극) 센서를 결합한 전 범위형 디지털 진공 센서로, 대기압부터 초고진공까지의 넓은 측정 범위를 정밀하게 커버합니다.
  • 산업용 자동화 시스템과의 높은 통신 호환성(OPC UA, EtherCAT, PROFINET 등)을 갖추고 있으며, 유지보수와 설치가 간편해 다양한 분야에 적용할 수 있는 고성능 진공 측정기입니다.

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VSM77DL_Full Range Vacuum Gauge

전압 범위 진공 게이지



 

Features

Pirani 센서와 Cold Cathode(냉음극) 센서를 결합한 전 범위형 디지털 진공 센서로, 대기압부터 초고진공까지의 넓은 측정 범위를 정밀하게 커버합니다.
산업용 자동화 시스템과의 높은 통신 호환성(OPC UA, EtherCAT, PROFINET 등)을 갖추고 있으며, 유지보수와 설치가 간편해 다양한 분야에 적용할 수 있는 고성능 진공 측정기입니다.



 

Specifications

Measuring Principle Pirani / inverted magnetron, both depending on gas type
Material In Contact With Vacuum Stainl. steel 1.4307, nickel, tungsten, molybdenum, glass, ceramic
Measurement Range 1000 - 5 × 10⁻⁹ mbar (750 - 5 × 10⁻⁹ Torr), max. overpressure 4 bar abs.
Accuracy 1000 - 10⁻³ mbar: < 30 % from reading
10⁻³ - 2 × 10⁻³ mbar: < 10 % from reading
2 × 10⁻³ - 1 × 10⁻⁸ mbar: < 25 % from reading
Repeatability 10⁻² - 1 × 10⁻² mbar: Approx. ±2% from reading
1 × 10⁻² - 1 × 10⁻⁸ mbar: Approx. ±7% from reading
Response Time 200 ms (1s for activating the cold cathode)
Cathode Voltage Max. 2.5 kV
Voltage Supply 20 - 30 VDC
Electrical Connection VSM77D/DL, VSM79D/DL: SubD, 15pol., male, lockable
VSM77E, VSM79E: M12 circular connector, female, lockable,
1× A standard, 5pol., 2× D coded, 4pol.
Power Consumption Max. 3 W, additionally 0.8 W for EtherCAT / relays / LCD
Operating Temperature +5...+60°C
Storage Temperature -40...+65°C
Maximum Bake Out Temperature 160°C at flange (electronics detached)
Output Signal 0 - 10 VDC, measuring range 1.819 - 8.6 VDC, log., 0.6 V/decade
Load resistor > 10kΩ (VSM77D/DL, VSM79D/DL)
Serial Interface RS485: 9.6 kBit/s to 115 kBit/s, address switch 1 - 16
Switch Points 2 switch-over relays, 50 VAC / 2 A, 30 VDC / 2 A, max. 60 VA
Vacuum Connection DN 25 ISO-KF (VSM77), DN 40 CF-F (VSM79)
Protection Class IP54 (VSM77E, VSM79E), IP40 (VSM77D/DL, VSM79D/DL)
Weight Approx. 555 g

 

 

 


VSM77DL, Full Range VacuumGauge, Vacuum, 진공게이지

 


VSM77DL(Full Range Vacuum Gauge)
Cat. No Model Description Unit Price(VAT별도) 재고
VSM77DL VSM77DL VSM Vacuum Transducer ● Pirani/Cold Cathode ● 1000 to 5e-9 mbar ● digital 1/EA
  • 소비자가:3,400,000원
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