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제품소개

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SURF-CAL Particle Size Standard ()

SURF-CAL™ Particle Size Standard

주요특징

  • 응용분야 : Wafer입자 증착용도, Wafer보정용도, 반도체 회사의 생산품 표면 입자 스캔, 시스템 검사용
  • 50 mL • Certified Peak Diameter ~ 0.047 μm - 3.04 μm

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안내사항

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Surf-Cal



Description
Thermo Fisher Scientific™은 반도체산업 및 SEMI와 함께 Scanning Surface Inspection System을 보정할 때 사용할 특정 입자 크기를 확립 했습니다.
당사는 기기 제조업체들과 협력하여 SEMI 표준 지침을 충족시키는 SURF-CAL™ 제품군을 만들었습니다.
ITRS(전 세계 반도체 기술 로드맵)에서 정의한 필수 입자 선별 노드로 여겨지고 있습니다. SURF-CAL™ NIST™ 추적 가능 폴리스티렌 라텍스 구체(PSL)를 엄선한 웨이퍼에 증착시켜 정기적인 보정 점검을 수행하고 내 스캐 너를 다른 위치의 스캐너와 비교할 수 있습니다. 또한 제조 과정의 중요 단계에서 SSIS의 성능을 평가할 수 있습니다. 제품은 mL당 3 × 108 입자 농도의 50mL 병에 든 탈이온 여과수에 부유되어 제공됩니다.

 

참고: 제품 PD1100 이하 크기의 제품은 mL당 1010 개 입자 농도로 제공되며 미분형정전분급기(DMA) 또는 기타 크기 배제 기술을 사용하 는 응용 분야에 이용할 수 있습니다.

 

응용분야
· Wafer 입자 증착 용도
· wafer 보정 용도
· 반도체 회사의 생산품 표면 입자 스캔, 시스템 검사용.

 

 

Specifications

Additive

None

Contents

Polystyrene microspheres in deionized, filtered water

Material

Polystyrene.

Quantity

50mL

Stability

Product stable for a minimum of 12 months
 

Composition

Polystyrene

Includes

Certificate of Calibration and Traceability to NIST

Particle Density

1.05g/cm³

Refractive Index

1.59 at 589nm (25°C)

Storage Requirements

Unless otherwise stated, refrigerate (2° to 8°C) product when not in use but do not freeze. Store upright and keep bottle tightly sealed. Mix product with gentle inversion by hand or vortex mixer.



Products

Catalog Number Certified
Peak
Diameter		 Expanded
Uncertainty
(of peak
diameter)		 Size Distribution Bottle
Size		 Concentration Mfr. No
Std. Dev. CV% FWHM%
09-980-138 0.047 μm 0.002 μm 0.004 μm
 7.5% 17.4% 50 mL 3 x 108 PD-047
09-980-139 0.047 μm 0.002 μm 0.004 μm
 7.5% 17.4% 50 mL 1010 PD-047B
09-980-140 0.064 μm 0.002 μm 0.003 μm 5.4% 10.9% 50 mL 3 x 108 PD-064
09-980-141 0.064 μm 0.002 μm 0.003 μm 5.4% 10.9% 50 mL 1010 PD-064B
09-980-146 0.083 μm 0.002 μm 0.004 μm 4.2% 9.6% 50 mL 3 x 108 PD-083
09-980-147 0.083 μm 0.002 μm 0.004 μm 4.2% 9.6% 50 mL 1010 PD-083B
09-980-150 0.092 μm 0.005 μm 0.004 μm 4.6% 9.1% 50 mL 3 x 108 PD-092
09-980-151 0.092 μm 0.005 μm 0.004 μm 4.6% 9.1% 50 mL 1010 PD-092B
09-980-152 0.100 μm 0.005 μm 0.004 μm 2.6% 5.2% 50 mL 3 x 108 PD-100
09-980-153 0.100 μm 0.005 μm 0.004 μm 2.6% 5.2% 50 mL 1010 PD-100B
09-980-156 - - 0.003 μm 2.4% 4.8% 50 mL - PD-125
09-980-157 0.126 μm 0.006 μm 0.003 μm 2.4% 4.8% 50 mL 1010 PD-125B
09-980-158 0.155 μm 0.003 μm 0.003 μm 1.6% 3.7% 50 mL 3 x 108 PD-155
09-980-159 0.155 μm 0.003 μm 0.003 μm 1.6% 3.7% 50 mL 1010 PD-155B
09-980-162 0.202 μm 0.005 μm 0.004 μm 1.8% 4.0% 50 mL 3 x 108 PD-200
09-980-163 0.202 μm 0.005 μm 0.004 μm 1.8% 4.0% 50 mL 1010 PD-200B
09-980-164 0.204 μm 0.008 μm 0.004 μm 1.8% 3.7% 50 mL 3 x 108 PD-204
09-980-165 0.204 μm 0.008 μm 0.004 μm 1.8% 3.7% 50 mL 1010 PD-204B
09-980-166 0.220 μm 0.007 μm 0.003 μm 1.6% 3.3% 50 mL 3 x 108 PD-215
09-980-167 0.220 μm 0.007 μm 0.003 μm 1.6% 3.3% 50 mL 1010 PD-215B
09-980-168 0.304 μm 0.005 μm 0.004 μm 1.4% 3.4% 50 mL 3 x 108 PD-305
09-980-169 0.304 μm 0.005 μm 0.004 μm 1.4% 3.4% 50 mL 1010 PD-305B
09-980-170 0.360 μm 0.013 μm 0.010 μm 2.0% 5.0% 50 mL 3 x 108 PD-365
09-980-171 0.360 μm 0.013 μm 0.010 μm 2.0% 5.0% 50 mL 1010 PD-365B
09-980-172 0.498 μm 0.010 μm 0.006 μm 1.1% 2.5% 50 mL 3 x 108 PD-500
09-980-173 0.498 μm 0.010 μm 0.006 μm 1.1% 2.5% 50 mL 1010 PD-500B
09-980-174 0.809 μm 0.014 μm 0.006 μm 0.8% 1.8% 50 mL 3 x 108 PD-800
09-980-175 0.809 μm 0.014 μm 0.006 μm 0.8% 1.8% 50 mL 1010 PD-800B
09-980-176 0.802 μm 0.011 μm 0.009 μm 1.1% 2.4% 50 mL 3 x 108 PD-802
09-980-177 0.802 μm 0.011 μm 0.009 μm 1.1% 2.4% 50 mL 1010 PD-802B
09-980-178 1.112 μm 0.018 μm 0.011 μm 1.0% 2.5% 50 mL 3 x 108 PD1100
09-980-179 1.112 μm 0.018 μm 0.011 μm 1.0% 2.5% 50 mL 1010 PD1100B
09-980-180 1.59 μm 0.02 μm 0.016 μm 1.0% 2.6% 50 mL 3 x 108 PD1600
09-980-181 2.01 μm 0.04 μm 0.019 μm 1.0% 3.3% 50 mL 3 x 108 PD2000
09-980-183 3.04 μm 0.06 μm 0.026 μm 0.9% 2.7% 50 mL 3 x 108 PD3000

표준물질
Cat. No Model Description Unit Price(VAT별도) 재고
09980138 PD-047 0.004 μm/7.5%/17.4% 1
  • 소비자가:428,000원
 0 별도문의
09980139 PD-047B 0.004 μm/7.5%/17.4% 1
  • 소비자가:2,428,000원
 0 별도문의
09980140 PD-064 0.003 μm/5.4%/10.9% 1
  • 소비자가:361,000원
 0 별도문의
09980141 PD-064B 0.003 μm/5.4%/10.9% 1
  • 소비자가:2,428,000원
 0 별도문의
09980146 PD-083 0.004 μm/4.2%/9.6% 1
  • 소비자가:361,000원
 0 별도문의
09980147 PD-083B 0.004 μm/4.2%/9.6% 1
  • 소비자가:2,428,000원
 0 별도문의
09980150 PD-092 0.004 μm/4.6%/9.1% 1
  • 소비자가:361,000원
 0 별도문의
09980151 PD-092B 0.004 μm/4.6%/9.1% 1
  • 소비자가:2,428,000원
 0 별도문의
09980152 PD-100 0.004 μm/2.6%/5.2% 1
  • 소비자가:428,000원
 0 별도문의
09986156 PD-125 0.003 μm/2.4%/4.8% 1
  • 소비자가:361,000원
 0 별도문의
09980153 PD-100B 0.004 μm/2.6%/5.2% 1
  • 소비자가:2,428,000원
 0 별도문의
09980157 PD-125B 0.003 μm/2.4%/4.8% 1
  • 소비자가:2,428,000원
 0 별도문의
09980158 PD-155 0.003 μm/1.6%/3.7% 1
  • 소비자가:428,000원
 0 별도문의
09980159 PD-155B 0.003 μm/1.6%/3.7% 1
  • 소비자가:2,428,000원
 0 별도문의
09980162 PD-200 0.004 μm/1.8%/4.0% 1
  • 소비자가:428,000원
 0 별도문의
09980163 PD-200B 0.004 μm/1.8%/4.0% 1
  • 소비자가:2,428,000원
 0 별도문의
09980164 PD-204 0.004 μm/1.8%/3.7% 1
  • 소비자가:361,000원
 0 별도문의
09980165 PD-204B 0.004 μm/1.8%/3.7% 1
  • 소비자가:2,428,000원
 0 별도문의
09980166 PD-215 0.003 μm/1.6%/3.3% 1
  • 소비자가:361,000원
 0 별도문의
09980167 PD-215B 0.003 μm/1.6%/3.3% 1
  • 소비자가:2,428,000원
 0 별도문의
09980168 PD-305 0.004 μm/1.4%/3.4% 1
  • 소비자가:361,000원
 0 별도문의
09980169 PD-305B 0.004 μm/1.4%/3.4% 1
  • 소비자가:2,428,000원
 0 별도문의
09980170 PD-365 0.010 μm/2.0%/5.0% 1
  • 소비자가:361,000원
 0 별도문의
09980171 PD-365B 0.010 μm/2.0%/5.0% 1
  • 소비자가:2,428,000원
 0 별도문의
09980172 PD-500 0.006 μm/1.1%/2.5% 1
  • 소비자가:361,000원
 0 별도문의
09980173 PD-500B 0.006 μm/1.1%/2.5% 1
  • 소비자가:2,428,000원
 0 별도문의
09980174 PD-800 0.006 μm/0.8%/1.8% 1
  • 소비자가:361,000원
 0 별도문의
09980175 PD-800B 0.006 μm/0.8%/1.8% 1
  • 소비자가:2,428,000원
 0 별도문의
09980176 PD-802 0.009 μm/1.1%/2.4% 1
  • 소비자가:361,000원
 0 별도문의
09980177 PD-802B 0.009 μm/1.1%/2.4% 1
  • 소비자가:2,428,000원
 0 별도문의
09980178 PD-1100 0.011 μm/1.0%/2.5% 1
  • 소비자가:428,000원
 0 별도문의
09980179 PD-1100B 0.011 μm/1.0%/2.5% 1
  • 소비자가:2,870,000원
 0 별도문의
09980180 PD-1600 0.016 μm/1.0%/2.6% 1
  • 소비자가:428,000원
 0 별도문의
09980181 PD-2000 0.019 μm/1.0%/3.3% 1
  • 소비자가:428,000원
 0 별도문의
09980183 PD-3000 0.026 μm/0.9%/2.7% 1
  • 소비자가:428,000원
 0 별도문의
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